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首页 > 满级富婆,潇洒九零 > 第297章 走不了捷径:走捷径

第297章 走不了捷径:走捷径(2 / 2)

哎呦,这个汤确实熬到位了。没有油也没有加葱蒜,居然不腥,就一个字——鲜。汆熟的黄鱼,夹在筷子上都不散,入口就是嫩。鱼刺被全部拔干净了,吃在嘴里就是爽。

郑老先生认认真真地吃面,完了还不忘把汤都给喝完。

最后他才放下碗,慢条斯理地擦嘴巴:“你要问什么,拿出来看看吧。”

助理赶紧帮忙拿出了资料,王潇亲自送到他手上:“我记得之前您说,我们的光刻机研发方向有问题。我想请您看看,这个方向可以吗?”

郑老先生的英语口语水平一般般,但在其他方面,尤其是专业英语方面,他能吊打在场所有人,包括王潇从微电子所请的专家。

他一边翻看资料,一边询问:“你们不打算缩短波长?”

所谓的光刻,就是将芯片制造的关键步骤,通过电路图案转移到硅片上。

波长的意义在于,波长越短,分辨率越高,能制造更小的晶体管。

这些年,光刻技术进展也很快,一路从g-line(436nm)、i-line(365nm),走到了krf(248nm),分辨率也一路上升。

只是目前卡在了130nm制程上,它需要更高的分辨率。传统汞灯(i-line,365nm)和krf准分子激光(248nm)的分辨率怎么也达不到这个标准。

国际上比较知名的光刻机厂商,像日本的尼康、佳能还有荷兰的asml等,都将目光投向了更短的193nm波长(arf准分子激光)。

王潇摇头:“不,我们要做193nm的波长,不过不做干式的,直接做浸润式的。”

她解释了一句,“我们再追下去没意思,跟着人家屁股后面,越追越远,不如弯道超车。”

郑老先生意味深长道:“那这一枪打出去,可未必有鸟。”

跟着人家屁股后面搞研发,看上去好像有点上不了台面,但实际上这是效率最高,成功概率也最高的研究方式。

因为先行者替你把所有的雷都趟了一遍了,不用你把精力浪费在已经失败的道路上。

王潇也明白第一个吃螃蟹的人,往往不是行业巨佬。研发经费过高,对企业经营来说,风险也随之增高。

赌错了,就是万劫不复。

她点点头:“先打一枪试试看。”

郑老先生没有再劝她三思而后行,而是放下了手上的资料,分析她要面临的问题:“那你这就是两步走。”

他在桌上放了两片蚕豆壳,然后指着左边的蚕豆格示意:“首先是单纯的193nm的机器,要有稳定的193nm arf准分子激光器,来解决了激光功率低、寿命短的问题。”

他又在左边放下了一片更小的蚕豆壳。

“你还得有高纯度的熔融石英透镜,要保证折射率在193nm波段的稳定性,来确保成像精度。光刻胶也得更新换代,灵敏度要提升,才能满足193nm曝光需求。”

他伸手点了点左边的三片蚕豆壳,“等到这一代的机器做出来以后——”

他将手转移到了右边,“后续才是193nm的浸润机。”

黄副市长听的真着急,因为哪怕他是门外汉,他也知道193nm的干式机,对国内目前的水平来讲,属于妥妥的可望不可即的高度。

所以他脱口而出:“不能在248nm的基础上直接做吗?”

郑老先生微微笑,未置可否,只问王潇:“那你们想好了用什么液体来做这个介质吗?”

“去离子水。”王潇已经想要捂脸了。

果不其然,郑老先生再度开启了慢条斯理模式:“理论角度上来讲,用去离子水做这个介质,折射后的波长应该会比193nm短。”

不等黄副市长精神振奋,他又剥开了一颗蚕豆,继续往桌上摆蚕豆壳,“这样,我们首先要解决第一个问题。”

“248nm光源需使用氟化钙(caf)透镜,caf与水接触时可能发生水解反应,导致透镜表面损伤,这样,我们需要额外设计防腐蚀涂层。”

众人先傻眼了,面面相觑。这好像简单问题复杂化了啊。

然而郑老先生还没结束他的连环击,再度放下一片蚕豆壳,“248nm光刻胶,聚对羟基苯乙烯,phs,在浸润环境中,可能因水的渗透导致图案变形。这个问题,也要想办法解决。”

众人感觉眼前一黑接一黑,本来他们觉得复杂问题可以简单化的。

结果叫郑老这么一分析,反而简单问题复杂化了。

郑老先生慢慢嚼着蚕豆,然后咽下肚子,才意味深长道:“技术更新就是这样。技术也要找自己的时机,就好像到了温度花才会开,它还需要执行力。这二者缺一不可。否则,再伟大的技术,它也落不了地。”

餐桌上陷入了沉默,只江水拍击着船发出的声响,透过窗户,传进包厢。

一并而来的,只有江水的潮湿之气和浓郁的咸腥味。它们如同黄浦江伸出的舌头,像母兽一样,舔舐着每个人的焦灼。

岸上灯光点点,小孩子奔跑时大喊大叫的欢笑声,让包厢里的沉寂愈发郁郁。

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