顷刻间，众人的视线重新聚焦在主监控屏上。

屏幕被分成了四个画面：左上角是光源功率与等离子体状态，右上角是光学系统的光束分布，左下角是晶圆台的实时坐标，右下角则是掩模台的运动轨迹。

随着汪象朝按下按钮，两个精密平台迅速移动，它们的运动轨迹像两条精准咬合的齿轮，每一次微调都控制在0.1纳米以内。

“同步精度0.08纳米！已达预设标准！”

汪象朝说道。

陈延森看了一眼时间，此刻是晚上8点37分，距离真空泵启动已经过去了半个多小时。

他俯下身子，对着麦克风，向实验室的工作人员叮嘱道：“曝光开始，单次曝光时间设置为0.5秒，记录所有参数。”

核心腔室的观察窗内，淡紫色的微光骤然亮了一下，旋即恢复柔和。

光路末端的探测器疯狂刷新着数据，屏幕上跳出一行行代表“曝光能量密度”、“线宽均匀度”、“图形套刻精度”的数值。

每一个数字都在朝着合格的方向靠近！

0.5秒的时间，却像一个世纪那么漫长。

当曝光完成的提示音在控制室内响起时，汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出，送往检测室。

一行人都跟了过去，连脚步都变得急促起来。

在精密的euv掩模版检测仪下，当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时，现场彻底沸腾了。

线条细如蛛丝，却没有一丝断裂或模糊，每一个晶体管的轮廓都精准得如同复刻。

光刻机的运行原理就像印刷机，又像照相机，只不过它所运用的‘画笔’和‘画板’都更为精细。

“成了！真的成了！”

汪象朝喃喃低语，双手在发抖，嘴里发出‘呵呵呵’的笑声，压抑中带着亢奋。

不一会儿，笑声变得呜咽。

他今年五十九岁，在euv光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。

曾经的他，眼看着自己的人生快要走到尽头，连euv光源的技术突破也渐渐看不到希望，心里满是无力。

可谁曾想，星源科技会在这时横空出世，不仅打破了僵局，更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。

如今造出了euv光刻机和烛龙 g1051五轴联动数控机床，往后华国芯片产业和高端制造业，总算不用再看别人脸色了！

汪象朝抹了把脸，想把激动的泪水憋回去，可嘴角却控制不住地往上扬，最后索性也不掩饰，任由泪水顺着脸颊往下淌。

这眼泪里，有大半辈子的遗憾，更有苦尽甘来的畅快。

林南见状，拍了拍他的肩膀，温言劝慰道：“汪工，咱们没白等，也没白干！”

站在人群里的梁劲松一脸唏嘘，他暗暗打量着陈延森，默默给出评价：妖怪级别的天才！

要知道，世界上大部分的技术突破，都需要一代人、甚至是几代人的积累，可陈延森硬是在二线的技术栈上，拿出了行业顶尖的方案。

220瓦、分辨率小于12纳米、0.33数值孔径的光学设计，每平方厘米可容纳约800亿个晶体管，绝对可以支持10纳米和7纳米节点的euv量产需求。

陈延森微微一笑，这台euv光刻机便是他的新筹码。

毕竟森联资本涉足的行业越广，树敌就越多，若是拿不出像样的压箱底本事，又如何能获得上面的全力支持？

另外，一台光刻机的售价高达5000万到9000万美币，能够创造巨大的经济利益。

而且陈延森还能借此培养一批生产、安装、养护和维修的工作人员，进而获得更多的人道薪火。

不过，alpha样机仅适用于内部测试，并不具备实际流片测试的条件，后续还得推出beta样机，即产品发布前由外部用户进行测试的设备。

好在星源科技有自己的生产线，只需经过反复调试、修改、迭代，就能逐步推进，最终制造出符合要求的成品光刻机。

“陈老师，给它取个名字吧！”

章延杰提议道。

“黑暗已逝，破晓乍现！就叫破晓 a220吧。”

陈延森想了想说道。

a代表星源科技光刻机的第一条序列，220是它的峰值功率。

与此同时。

李青松在收到消息后，立马拿起文件，急匆匆地朝着南海旁的一座庭院赶去。

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